ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).

ICP光譜儀儀器特點：進樣系統(tǒng)具有、穩(wěn)定的進樣系統(tǒng)。通過不斷地形成大小一致的液滴，eNeb選件可令Optima提供的穩(wěn)定性和無可比擬的檢出限，非常適用于環(huán)境和制劑實驗室。有的RF發(fā)生器采用免維護的等離子體感應(yīng)板，替代傳統(tǒng)的螺旋負載線圈。無需冷卻，氬耗降低，操作成本大大降低。

多電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀是領(lǐng)域無機分析能手，環(huán)境中大氣、水質(zhì)、土壤和固廢污染物中無機元素分析； 食品藥品中營養(yǎng)元素和污染元素的定性定量分析；

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀可以進行冶金礦業(yè)中雜質(zhì)元素和主量元素的含量分析。

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